国产突破：上海AI实验室联合厦门大学，以AI驱动方式首次实现高纯度KrF光刻胶树脂创制，关键指标达国际先进水平，打破海外技术垄断。
国产半导体材料重大突破：据 2026 年 5 月 12 日上海人工智能实验室官方首发、上观新闻、证券时报权威报道，上海 AI 实验室联合厦门大学，依托书生科学大模型 Intern-S1 及科学发现平台，全球首次以 AI 智能驱动研发范式，完成高纯度 KrF光刻胶树脂自主创制。
KrF 光刻胶树脂是 28–90nm 成熟制程光刻胶的核心基底关键材料，长期被海外企业技术封锁垄断。本次 AI 赋能研发实现范式革新：传统人工研发周期需 5–8 年、研发投入约 900 万元，AI 闭环智能研发周期压缩至 1 年内、成本降幅超 90%；成品关键核心指标纯度≥99.9%、批次一致性 RSD＜0.5%、耐热稳定性≥200℃，整体性能达到国际先进商用水平，成功打破海外长期技术垄断。目前该成果已联动产业端完成适配优化，即将进入国内晶圆厂客户端验证阶段，为我国半导体光刻材料自主可控补齐关键一环。
资料来源
- 上海人工智能实验室官方微信公众号（2026-05-12，首发）
- IT 之家（2026-05-12 10:48，全文转载官方稿）
- 上观新闻 / 解放日报（2026-05-13 06:00，深度报道）
- 证券时报・e 公司（2026-05-12，权威产业报道）
- 新浪财经（2026-05-13，半导体产业专题）
